1. 執行標準：GB/T 4842-2017《氬》、GB/T 28726、SEMI電子級標準

1. 檢測純度：5N(99.999%)、6N(99.9999%)

1. 典型控制指標：

• 氧O? ≤1ppm

• 氮N? ≤1ppm

• 氫H? ≤0.1ppm

• 一氧化碳CO ≤0.1ppm

• 二氧化碳CO? ≤0.1ppm

• 總烴THC ≤0.1ppm

• 水分H?O ≤0.5ppm

1. 氣相色譜法（GC-PDHID/TCD）

2. 熱導法（TCD）

3. 微量氧/微量水分析儀

4. 固定在線式系統

1. 取樣：使用不銹鋼拋光管路、專用減壓器，防止污染

2. 預處理：吹掃、穩壓、除濕、除油

3. 進樣分析：離線色譜/在線設備連續檢測

4. 數據記錄：實時濃度、曲線、報警記錄

5. 報告輸出：純度、雜質含量、合格判定

五、在線監測推薦：ERUN-PG51AR固定在線式氬氣檢測分析儀

1. 采用進口高精度TCD熱導傳感器，穩定性強、壽命長

1. 測量范圍：0~100%Vol，支持高純氬氣精準分析

1. 支持管道式/壁掛式/流通式安裝，適配現場工況

1. 4-20mA+RS485標準輸出，可接入DCS/PLC/上位機

1. 兩級聲光報警，超標自動提醒，保障生產安全

1. 紅外遙控校準，不開蓋操作，更安全便捷

1. 防爆結構設計，適用于工業危險場所

1. 空分設備氬氣精餾單元在線監測

1. 氣體充裝廠高純氬氣出廠質控

1. 半導體/光伏車間氬氣管道實時監測

1. 激光焊、不銹鋼焊氬氣純度保障

1. 實驗室/科研院所高純氣在線分析

六、方案價值

1. 精準把控高純氬氣雜質含量，提升產品良率

2. 實現24小時在線監測，減少人工巡檢成本

3. 超標提前預警，避免工藝事故與原料浪費

4. 數據可追溯，滿足審核、驗廠、客戶要求

七、總結